Microscopie électronique à balayage

Lorsqu'un microscope optique classique bute contre ses limites de résolution, il est temps de passer au microscope électronique à balayage (MEB). Ses prises de vue laissent voir les structures des éprouvettes qui ne peuvent plus être résolues avec la lumière, cela de manière plastique et avec un maximum de détails.

La microscopie électronique à balayage nécessite en général des éprouvettes à surface conductrice. Si ce n'est pas le cas, la surface est recouverte d'une couche conductrice extrêmement fine à l'aide d'un procédé standard établi.

Les éprouvettes sont placées et fixées sur une table mobile haute précision dans une chambre à vide. Notre chambre à vide présente des dimensions généreuses et peut donc traiter des éprouvettes de grand format. 

 

 

Aperçu des utilisations possibles dans le domaine de la recherche et du développement
Recherche et développement
  • Représentation de surfaces à des échelles minimes
  • Analyse d'impuretés, p.ex. des particules
  • Étude de propriétés morphologiques (rugosité)
  • Analyse de phénomènes de fatigue, aspects de fissuration et modes de rupture
  • Grains de poudre
  • Micrographies de structure
Production
  • Surveillance de produits de série (p.ex. surfaces de contact, collages, ...)
Vente / marketing
  • Représentation de détails de produits, comparaison avec les produits de la concurrence

Description du système

  • Microscope électronique numérique à balayage ZEISS DSM 962
  • Triplet électromagnétique, colonne antivibratoire blindée magnétiquement
  • Généreuse chambre de préparation
  • Table de préparation motorisée ultra précise

Caractéristiques du système de microscope électronique à balayage

  • Plage de grossissement 5x à 100 000x avec distance frontale de 7 mm, zoom
  • Résolution (selon la tension d'accélération) : 4 nm à 30 kV, 25 nm à 1 kV
  • Tensions d'accélération de 0,49 kV jusqu'à 30 kV
  • Courant de faisceau de 1 µA à 30 μA
  • Généreuse chambre de préparation (H x L x P : 270 mm x 270 mm x 310 mm)
  • Table de préparation motorisée avec course de 80 mm dans le sens X et le sens Y
  • Système à vide avec pompe turbomoléculaire refroidie par eau (240 l/s) pour un vide exempt d'hydrocarbures
  • Deux types de détecteurs pour les électrons rétrodiffusés (contraste) et les électrons secondaires (topographie)

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