Rasterelektronenmikroskopie

Wenn ein klassisches Lichtmikroskop an seine (Auflösungs)grenzen stösst, schlägt die Stunde des Rasterelektronenmikroskopes (REM). In seinen Aufnahmen zeigen sich Probenstrukturen, die mit Licht nicht mehr aufgelöst werden können, plastisch und mit hoher Detailschärfe.
Die Rasterelektronenmikroskopie erfordert i. d. R. leitende Probenoberflächen. Im gegenteiligen Fall wird zur Belegung der Oberfläche mit einer extrem dünnen, leitfähigen Schicht ein etabliertes Standard-verfahren angewandt.
Die Proben werden in einer Vakuumkammer auf einem hochpräzisen Verfahrtisch befestigt. Unsere besonders geräumige Kammer kommt auch mit grösseren Prüflingen gut zurecht.

 

Die Einsatzmöglichkeiten im Überblick
Forschung und Entwicklung
  • Darstellung von Oberflächen auf kleinsten Skalen
  • Untersuchung von Verunreinigungen, z. B. Partikeln
  • Begutachtung von morphologischen Eigenschaften (Rauhigkeit)
  • Ermüdungsuntersuchungen, Riss- und Bruchbilder
  • Pulverkörner
  • Schliffbilder
Produktion
  • Überwachung von Serienprodukten (z. B. Kontaktoberflächen, Klebestellen, ...)
Verkauf/Marketing
  • Abbildung von Produktdetails, Vergleiche mit Wettbewerbsprodukten

Systembeschreibung

  • Digitales Rasterelektronenmikroskop ZEISS DSM 962
  • Elektromagnetisches Drei-Linsen-System, schwingungsgedämpfte, magnetisch geschirmte Säule
  • Extra grosse Präparatkammer
  • Hochpräziser motorgetriebener Präparat-Tisch

Systemmerkmale Rasterelektronenmikroskop

  • Vergrösserungsbereich 5x bis 100 000x bei 7mm Arbeitsabstand, Zoom
  • Extra grosse Präparatkammer (H x B x T: 270mm x 270mm x 310mm)
  • Auflösung (abhängig von Beschleunigungs-spannung): 4nm bei 30kV, 25nm bei 1kV
  • Motorisierter Präparat-Tisch mit 80mm Verfahr-weg in X- und Y-Richtung
  • Beschleunigungsspannungen von 0,49kV bis zu 30kV
  • Vakuumsystem mit wassergekühlter Turbomo-lekularpumpe (240l/s) für kohlenwasserstoff-freies Vakuum
  • Strahlstrom von 1pA bis 30μA
  • Zwei Detektortypen für Rückstreuelektronen (Elementkontrast) bzw. Sekundärelektronen (Topographie)

THE ANTRIMON GROUP TURNS MECHATRONICS INTO SUCCESS

Wir bringen unsere Kunden vorwärts und verhelfen ihnen zum Erfolg. Daher unser Slogan: moving forward