Mikroskopische Elementanalyse

Röntgenspektroskopie

Die Bestimmung der elementaren Zusammensetzung mikroskopisch kleiner Objekte ist die Domäne der Röntgenspektroskopie (EDX – energy dispersive X-ray spectroscopy). Rasterelektronenmikroskopische Aufnahmen z. B. winzigster Oberflächenareale oder Partikel lassen sich mit überlagerten „Element-Landkarten“ zu einem aussagekräftigen Ganzen kombinieren. Alle Elemente ab Kohlenstoff können quantitativ analysiert werden.
Das EDX-System operiert gemeinsam mit dem Rasterelektronenmikroskop und nutzt dessen Proben-kammer, Vakuumsystem und Elektronenstrahl (siehe auch entsprechenden Steckbrief).

Die Einsatzmöglichkeiten im Überblick
Forschung und Entwicklung
  • Analyse der Elementverteilung von Legierungen (z.B. elektrische Kontakte)
  • Bestimmung der Zusammensetzung von Partikeln
  • Charakterisierung von Einschlüssen
  • Nachweis von Migrations- oder Entmischungsprozessen
Produktion
  • Überprüfung von Lötstellen, Schweisspunkten
  • Ursachensuche von Kontaminationen
  • Überwachung von Serienprodukten
Verkauf/Marketing
  • Exemplarische Analysen von Produkten, Vergleiche mit Wettbewerbsprodukten

Systembeschreibung

  • Hochmodernes Thermo Scientific Noran 7 Röntgenanalyse-System
  • Halbleiterdetektor mit Polymerfenster
  • Komfortable Auswertesoftware mit automatischer Elementerkennung, zahlreichen Scan-Optionen wie Linienscan, „Element-Landkarten“ und Algorithmen zur quantitativen Analyse

Systemmerkmale Röntgenspektroskopie

  • SiLi-Halbleiterdetektor mit 30mm2 Fläche, LN2-gekühlt
  • Informationstiefe einige μm, abhängig von der Dichte der Matrix
  • Polymer-Eintrittsfenster aus NORVAR
  • Automatische Identifikation der Elemente im Röntgenspektrum
  • Energieauflösung 149eV FWHM (Mn Kα)
  • Zahlreiche Algorithmen zur quantitativen Analyse
  • Detektion aller Elemente ab Kohlenstoff
  • Punktanalyse, Linienscans, Elementlandkarten
  • Ortsauflösung ca. 2μm
  • System aus Detektor, Akquisitionselektronik und speziellem Mikroanalyse-Rechner

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